Kontwole kontaminasyon tras nan rezo likid semi-conducteurs pou amelyore pwodiksyon wafer

Jeni sede nan yon fab semiconductor modèn se lajman yon egzèsis nan jesyon patikil. Pandan jeyometri tranzistò yo ap retresi nan papòt sub-twa-nanomèt, kontaminan tradisyonèl nan nivo makro-yo pa sèlman menas la ankò. Varyasyon mikwoskopik nan pite chimik, ti ​​fluctuations presyon, ak tras iyon metalik nan kouran pwosesis la kounye a dirèkteman lakòz echèk katastwofik chip.

Pandan ke paramèt zouti tankou dansite plasma ak konsantre lazè yo jwenn pi fò nan atansyon a, enfrastrikti fizik ki bay pwodwi chimik yo, solvang, ak ultra-dlo pi pwòp nan ban mouye a se souvan kote pèt pwodiksyon aktyèlman rive.

 

 

Semiconductor

 

Klasifikasyon Defo Pwosesis ak Likid-Kòz Rasin Faz

Defo yo te jwenn pandan enspeksyon an liy yo jeneralman klase kòm swa anomali materyèl intrinsèques oswa pwosesis -kontaminasyon sifas pwovoke. Defo lasi, ki gen ladan pòs vid ak dislokasyon, anjeneral remonte nan kwasans inisyal ingot la. Nan lòt men an, bortkanson pon, defo kristal modele, ak pann oksid pòtay yo prèske toujou prezante pandan litografi, nidite, grave, oswa planarization chimik mekanik.

Pandan etap sa yo chimi mouye, sifas la wafer Silisyòm se trè reyaktif ak vilnerab a nenpòt matyè etranje sispann nan pwodui chimik yo pwosesis. Si yon liy livrezon entwodui patikil sub-mikwòn, grenn sa yo rete ant liy metal amann pandan depoze, sa ki kreye yon kout elektrik imedya.

Kontaminasyon chimik se menm plis trètr. Iyon metal lou tankou fè, kwiv, oswa chromium ka difize tou dwat nan lasi kristal Silisyòm, kreye pyèj gwo -nivo ki lakòz gwo koule nan sibstiti. Sa a mennen nan domaj inaktif kote chip la pase premye tès parametrik men echwe prematireman yon fwa deplwaye nan serveurs oswa machin.

Matris sa a konekte echèk estriktirèl nivo mikwo-sa yo dirèkteman ak frajilite espesifik nan plonbri livrezon likid la.

 

Tablo 1: Kalite defo Semiconductor ak enpak kontwòl likid

 

Kategori defo	Manifestasyon mikwoskopik	Pwosesis Prensipal Kòz Rasin	Solisyon enfrastrikti likid
Pwen Defo	Enpurte metalik etranje entegre nan lasi kristal Silisyòm.	Kontaminasyon chimik soti nan mi tiyo lesivaj oswa bon jan kalite alyaj pòv.	Itilize konpozan pite segondè-ak sètifikasyon materyèl strik.
Pwosesis-patikil ki pwovoke	Pon sifas ki lakòz sikwi kout ant liy kondiktif paralèl.	Fragman mikwoskopik ki te pwodwi pa mete eleman oswa fwit lè ekstèn.	Enstalasyon Fittings Camlock ki gen gwo -tolerans pou kenbe yon anviwònman sele.
Volim & Kouch Defo	Delaminasyon lokalize, epesè fim inegal, oswa varyasyon grave.	Onn presyon ak modèl koule ajite pandan livrezon chimik.	Entegrasyon Tiyo Sanitè ak presizyon-masinen pou asire koule lineyè, Vibration-gratis.

 

Jere Entegrite jwenti nan livrezon chimik esansyèl

Sistèm distribisyon chimik esansyèl ak patin melanje chimik okipe asid agresif ak lisier abrazif chak jou. Sistèm sa yo mande pou chanje kontenè regilye, purge liy, ak ranplasman filtre. Chak fwa yon koneksyon louvri pou antretyen, tout bouk likid la ekspoze a risk ekstèn, tankou imidite anbyen, lè chanm pwòp, ak erè imen.

Pou kenbe tan mòso zouti a ba pandan chanjman chimik sa yo, enstalasyon yo konte sou kouple -dekonekte rapid. Espesifye solidCamlock Fittingspèmèt teknisyen yo fèmen ak debloke liy ekipman yo rapidman, minimize tan an plonbri entèn yo ekspoze a lè. Sepandan, kouple estanda komèsyal-klas yo souvan prezante enpèfeksyon depoze, zepòl entèn byen file, oswa twou byen fon tou pre chèz la.

Zòn mal machin sa yo aji kòm janm mouri kote pwodwi chimik ki kowonpi pisin, kristalize, oswa degrade. Lè pwodui chimik fre koule nan liy lan, li kraze fragman sa yo kristalize gratis, vire yo nan patikil asasen ki kontoune filtraj ak ateri sou wafer la.

Fitup mekanik nan jwenti a tou dikte si kavitasyon rive. Lè likid ki gen gwo vitès-pase nan yon jwenti ki pa aliye oswa ki lach makonnen, vitès lokal la ogmante epi desann presyon likid la anba pwen vapè li a. Sa a jenere mikwo-bul vapè ki tonbe vyolanman lè presyon refè anba.

Ond chòk ki soti nan mikwo-cavitation sa a fizikman erode mi enteryè plonbri aval yo, retire kouch pasivasyon yo epi jenere flak asye pur. Gwo -tolerans Camlock Fittings prezante presizyon-enteryè raz ki aliman parfe ak dyamèt enteryè tiyo a, kenbe yon pwofil vitès lis ak sispann kavitasyon anvan li kòmanse.

 

LEADTEK Camlock A

 

Anpeche Pyèj Patikil ak Chea Chòk nan Valv

Fittings etabli fondasyon an nan tiyo a, men tiyo okipe travay la dinamik nan throttling, izole, ak dirije koule. Estanda tiyo endistriyèl yo se yon gwo sous pèt sede paske kavite entèn yo pèmèt patikil yo rezoud. Sispansyon CMP, ki gen patikil abrazif sispann tankou silica oswa alumina, yo patikilyèman tendans jete soti nan sispansyon lè vitès koule diminye andedan yon kò valv. Lè valv la aktue, sediman sa yo chaje yo konprese, taye, ak koule nan zouti nan pwosesis kòm gwo aglomere ki grate sifas la wafer.

Pou elimine zòn mouri sa yo, liy pwosesis pite segondè yo itilize electropolishedValv Sanitènan bouk koule kritik. Tiyo sa yo bati ak zewo-kavite entèn-konsepsyon ak sifas enteryè ultra-lis pou asire ke vitès likid rete konstan nan tout kò valv la.

Fini glas la retire pwen jete mikwoskopik kote bakteri, polymère, oswa patikil lisier ka kole sou mi yo. Pandan sikilasyon nòmal pou netwaye-nan-plasman oswa dlo-, likid purge a netwaye tout volim entèn la, li pa kite okenn rezidi dèyè pou kontamine pwochen pakèt chimik la.

Pi lwen pase kontwòl patikil, yon valv dwe opere san yo pa twoublan presyon liy. Pandan grave ak presizyon oswa depo vapè chimik, livrezon likid dwe lis ak lineyè. Si yon tij valv chatter oswa lakòz yon efè mato idwolik lè li fèmen, vag presyon ki kapab lakòz vwayaje desann liy lan epi vibre bouch yo espre andedan chanm pwosesis la.

Vibrasyon fizik minè sa a deranje kouch fwontyè likid la sou wafer k ap vire a, sa ki lakòz epesè fim inegal oswa lokalize sou -grave. Eleman avanse kontwòl koule yo sèvi ak jeyometri entèn balanse pou distribye presyon likid respire, asire lis aksyon ak presyon ki estab en.

Matris eleman ki anba a detaye ki jan chwazi fòma pyès ki nan konpitè apwopriye remèd mòd echèk tiyo espesifik sa yo.

 

Tablo 2: Matris seleksyon konpozan likid

 

Kalite eleman	Fonksyon Prensipal	Benefis debaz
Camlock Fittings	Koneksyon plonbri rapid, an sekirite	Anpeche stagnation likid ak fwit ekstèn
Valv Sanitè	Ultra-règleman koule pi bon kalite	Elimine akimilasyon patikil entèn yo

 

Metaliji ak tès leach kòm bon jan kalite referans

Konpatibilite chimik nan metaliji sistèm lan se defans final la kont kontaminasyon tras iyonik. Klas estanda asye pur souvan gen ladan mikwo-enklizyon nan sulfid Manganèz, kabòn, oswa Silisyòm. Lè yo ekspoze a pwodwi chimik ki trè korozivite tankou asid fosfò cho oswa oksijene idwojèn, enklizyon sifas sa yo fonn, ekspoze limit grenn yo anvan tout koreksyon nan asye a nan atak chimik kontinyèl. Pwosesis lesivaj sa a degaje iyon metal gratis dirèkteman nan kouran chimik la, ki kraze pèfòmans tranzistò si yo rive nan sifas Silisyòm lan.

Anpeche fòm sa a nan degradasyon materyèl mande pou kontwòl kalite strik pandan etap yo Distribisyon ak MACHINING. Gwo -konpozan pite yo dwe ale nan verifikasyon materyèl solid, ki gen ladan spèktroskopi emisyon optik pou konpozisyon alyaj ak tès ultrasons pou trape vid anba tè.

Ranfòse estanda fabrikasyon strik sa yo garanti ke ekipman an ka okipe ekspoze kontinyèl nan medya korozivite sou sik lavi long san yo pa koule iyon metalik oswa kontribye nan kontaminasyon pwosesis.

 

Entegre sistèm likid nan Estrateji Sede yo

Kontwòl kontaminasyon pa kapab okipe sèlman pa filtraj lè chanm pwòp oswa zouti -optimize resèt nivo. Vrè rediksyon defo mande pou yon gade konplè sou tout rezo livrezon likid la. Yon sèl valv sub-optimize oswa yon jwenti tiyo ki lach pral anile travay inite filtraj chè yo ann.

Amelyore nan sistèm koneksyon wo-presizyon ak eleman kontwòl koule trè poli pèmèt fab wafer yo retire materyèl ak varyab mekanik ki lakòz domaj wafer yo. Deplwaye jwenti likid serye ansanm ak tiyo espesyalize kreye yon anviwònman chimik ki estab, pwòp e ki repete. Nan yon endistri kote yon sèl patikil sub-mikwòn ka vire yon gwo-microchip maj nan bouyon, pyès ki nan konpitè ki pote likid la mare dirèkteman ak liy anba faktori a.